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- 產品名稱：移動式氦氣檢漏儀
- 產品型號：UL1000FAB
- 產品展商：INFICON
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簡單介紹
INFICON英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀UL1000FAB 移動式氦氣檢漏儀
產品描述
UL1000 Fab
ULTRATEST? 傳感器技術
工業真空和半導體制造中真空泄漏檢測的“干式”標準
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的公認標準。
通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了*佳的性價比。它提供*先進的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區域。可選的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實現低于現有背景水平狀態持續進行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確保可以經濟實惠地檢測出所有泄漏。
穩定性和敏感度的新疆界，檢漏低達10-12毫巴·升/秒
英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。
憑借工廠環境系統優先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應。通過結合高速氦氣抽吸和高進氣口壓強的*佳真空結構，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供漏率低達< 5×10-12毫巴·升/秒。磚利軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱，因為UL1000能夠對所有漏率范圍做出快速響應。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產品組合。
使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產品提供簡單、快速、**的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據MilStd883，方法1014）。
特征概覽
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應時間
移動式全金屬外殼為優良可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應時間
抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
自保護功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環可確保隨時可用性
通過電子郵件進行軟件升級
含兩個燈絲離子源（3年質保）的耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本
內部校準用的內置校準漏孔確保了**的測試結果
內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執行密封部件的自動測試
可選RC1000遙控器
應用
半導體加工工具上的維護工作
工藝氣體系統的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應用
規格
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類型
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5 ? 10-12
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氦氣（吸**式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5·10-8
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GROSS 模式*大進氣口壓力
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mbar
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15
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FINE 模式*大進氣口壓力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大進氣口壓力
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mbar
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0.4
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抽真空期間的抽氣能力
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m3/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max. 8
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FINE 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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7
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ULTRA 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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2.5
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可檢測質量數
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2,3,4 amu
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質譜儀扇形場
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180°
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燈絲離子源銥/氧化釔涂層
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2
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內置校準漏孔
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mbar?L/s
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～ 10-7
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測試端口
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DN 25 KF
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1
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可調觸發器
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2
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接口
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RS 232
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圖形記錄器輸出
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V
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2 x10
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輸入/輸出
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PLC compatible
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允許的環境溫度（操作過程中）
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°C
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+10 to +40
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重量
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110
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尺寸（長x寬x高）
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1050 x 472 x 987
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電源電壓 (EU)
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V (ac)
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230 (± 10 %) 50 Hz
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電源電壓 (US)
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V (ac)
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100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
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功耗 (typ.)
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VA
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1100
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|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
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附件
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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零件號
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明細
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14005
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SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長
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14022
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RC1000 extension cable, 8 m
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14090
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LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
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551-000
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Toolbox, detachable,for UL1000
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551-001
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Helium Bottle Holder for UL1000/5000
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551-002
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ESD Mat for UL1000/5000
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551-005
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TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
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551-010
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遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
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551-015
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遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發射機
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551-020
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RC1000WL 用無線發射機
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